— 采用光子晶體激光器(PCSEL)結(jié)構(gòu),實現(xiàn)高指向性與窄帶光源 —
東京2026年3月26日 /美通社/ -- 旭化成微電子株式會社(總公司:東京都千代田區(qū)、法定代表人總經(jīng)理:篠宮秀行、以下簡稱“旭化成微電子”)與京都大學高等研究院特聘教授野田進的團隊成功實現(xiàn)了2µm波段紅外光子晶體激光器(PCSEL:圖1)振蕩。PCSEL是一種兼具小型化、高輸出、高指向性和高功能性等特點的新一代半導體激光器。通過PCSEL實現(xiàn)2µm波段激光,旨在將其拓展至傳統(tǒng)技術(shù)難以覆蓋的應(yīng)用領(lǐng)域,如生物體內(nèi)物質(zhì)的無創(chuàng)檢測以及癌癥風險研究等。
1. 研究背景與內(nèi)容
旭化成微電子自1980年起開展霍爾元件的量產(chǎn),化合物半導體技術(shù)是公司的核心優(yōu)勢之一※。公司還擁有采用MBE(分子束外延)的薄膜形成技術(shù),通過融合這些技術(shù),迄今已開發(fā)并推出了包括磁傳感、氣體傳感、生物傳感在內(nèi)的多樣化傳感器以及紅外LED等產(chǎn)品。
※(參考新聞)"薄膜霍爾元件商業(yè)化"獲得IEEE里程碑殊榮
同時,由于光強和波長帶寬等方面的限制,紅外LED在部分應(yīng)用中難以滿足要求。近年來,在生物體內(nèi)物質(zhì)檢測及呼氣氣體分析等需要更高亮度和更窄帶寬光源的領(lǐng)域,小型且具備量產(chǎn)優(yōu)勢的紅外激光器的開發(fā)備受期待。
由京都大學高等研究院特聘教授野田進發(fā)明的PCSEL,利用光子晶體的光調(diào)控功能,相較于傳統(tǒng)激光器,可在實現(xiàn)小型化的同時兼具高指向性、窄帶寬和高亮度。旭化成微電子依托長期積累的化合物半導體技術(shù),通過共同研究不斷優(yōu)化光源結(jié)構(gòu),成功實現(xiàn)了基于PCSEL結(jié)構(gòu)的2µm波段激光振蕩。
此次通過對激光振蕩特性的測量,確認了PCSEL在2µm波段同樣具備高指向性、窄帶寬等特點(圖2)。光束模式是基于本次光子晶體設(shè)計的一個示例,通過設(shè)計,可實現(xiàn)包括單峰分布在內(nèi)的多樣化光束調(diào)控。今后通過進一步優(yōu)化光子晶體結(jié)構(gòu),有望提升性能并推廣應(yīng)用。
2. 預期應(yīng)用領(lǐng)域
(1)醫(yī)療與健康領(lǐng)域:提升健康監(jiān)測水平
將小型2µm波段激光用于傳感,有望通過可穿戴設(shè)備對生物體內(nèi)物質(zhì)進行無創(chuàng)檢測,或通過檢測呼氣中的氣體成分(如VOCs、丙酮等)實現(xiàn)健康監(jiān)測等應(yīng)用。
(2)環(huán)境監(jiān)測:溫室氣體的高靈敏度、微量定量檢測
在2µm波段存在CO?和CH?等氣體的吸收譜線。結(jié)合PCSEL的高指向性與窄帶寬特性,有望應(yīng)用于需要高精度檢測微量氣體(如CO?和CH?等溫室氣體)的領(lǐng)域。
(3)通信/LiDAR:兼顧安全性與高性能
從人眼安全性的角度來看,2µm波段紅外光也備受關(guān)注。結(jié)合PCSEL的高指向性,有望推動高性能LiDAR及新一代通信技術(shù)的發(fā)展。
3. 未來展望
基于本次成果,旭化成微電子將進一步加快2µm波段PCSEL的研發(fā)進程。通過采用更先進的光子晶體結(jié)構(gòu)并持續(xù)優(yōu)化光源結(jié)構(gòu),力爭實現(xiàn)高指向性、窄帶寬及高亮度的性能表現(xiàn)。
同時,旭化成微電子也將推進量產(chǎn)可行性的驗證,加速實際應(yīng)用落地。通過上述舉措,旭化成微電子將持續(xù)探索在健康、環(huán)境監(jiān)測、通信及LiDAR等領(lǐng)域的應(yīng)用潛力,為新一代傳感技術(shù)的發(fā)展做出貢獻。
關(guān)于本技術(shù)的研究成果,已于2026年3月在應(yīng)用物理學會上發(fā)表。