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Park Systems擴展FX大型樣品AFM產品線，為下一代工業創新注入動力
韓國首爾2025年2月19日 /美通社/ -- 全球原子力顯微鏡（AFM）領軍企業Park Systems在2025年韓國半導體展覽會上推出了擴展版FX大型樣品AFM系列產品。 繼Park FX200在2024年西部半導體展覽會（SEMICON West）首次亮相并隨后在德國、日本和韓國市場獲得強烈反響之后，Park Systems又推出了用于300毫米晶圓分析的Park FX300，以及集成了紅外（IR）光譜技術的Park FX200 IR和FX300 IR，進一步拓展了大型AFM技術的邊界。
隨著300毫米晶圓成為半導體行業標準，Park FX300專為需要高精度分析但無需復雜全自動在線系統的用戶設計，同時也為計劃在過渡至在線制造前引入AFM技術的企業提供理想解決方案。
Park FX300兼顧工業與科研需求，通過多項專有功能實現廣泛AFM技術的分析與質控升級：如半導體后端處理中銅墊的長程平整度測量的滑動載物臺；用于晶圓封裝中樣品精確對準的旋轉載物臺；以及增強樣品可視化效果的離軸光學系統。此外，內置風機過濾單元（FFU）可確保潔凈室環境下的無污染操作。
同步推出的FX200 IR與FX300 IR將AFM技術拓展至納米化學分析領域。通過融合傅里葉變換紅外光譜（FTIR）與原子力顯微鏡，該系列采用光誘導力顯微鏡 （PiFM）技術，實現小于5納米化學成像的空間分辨率。這一突破使研究人員能在不損傷晶圓表面的前提下分析納米結構化學成分，為半導體、高分子及生命科學領域的材料表征開辟新路徑。
FX200 IR 和 FX300 IR 專為從小尺寸到200毫米或300毫米晶圓的樣品設計，提供高分辨率紅外光譜成像，可深入解析材料組成與分子相互作用。其超精細化學鍵信息捕捉能力，為半導體缺陷分析、高分子研究及先進材料表征提供高精度支持。
秉承"高效率同時減少人工干預"理念，FX大樣品AFM系列配備探針自動識別更換系統、用于探針狀態監測的二維碼系統及AI激光對準功能。StepScan?技術支持預設坐標點自動連續測量，大幅提升形貌、電學、力學與磁學特性分析的效率。尤其在紅外應用中，系統通過全自動激光對準流程，顯著降低高分辨率化學分析的操作門檻。
韓國帕克股份有限公司（Park Systems）執行副總裁趙相俊博士表示："FX大樣品AFM系列凝聚了我們在精密測量與自動化領域數十年的技術積淀，為工業與科研用戶提供優化的晶圓分析解決方案。Park FX300及納米紅外系統正在重塑工業與研究級AFM的應用界限，為客戶提供先進的AFM解決方案, 共同推動納米科學的發展。"
此次創新進一步鞏固了 韓國帕克股份有限公司（Park Systems）在原子力顯微鏡領域的全球領導地位，持續為半導體與納米科學研究提供前沿解決方案。
關于Park Systems公司：（ 韓國科斯達克(KOSDAQ)股票代碼：140860）
作為納米計量解決方案的引領者，Park Systems以其制造的高質量原子力顯微鏡（AFM）而備注關注。與行業競爭對手不同，Park Systems在材料科學、物理學、化學、生命科學、半導體和數據存儲等多個科學領域中能與客戶保持良好的專業關系。公司的使命是為科學家和工程師推動納米尺度的創新，促進科學發現。Park Systems的客戶包括各大半導體公司和研究型大學。公司總部位于韓國水原，并在美洲、歐洲和亞洲設有地區辦事處，Park Systems已在韓國證券交易所（KOSDAQ）上市。了解更多信息，請訪問：www.parksystems.cn。
