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慕尼黑2022年5月24日 /美通社/ -- 半導體制造業提供溫度管理解決方案的領導者——ERS electronic開發了一種溫度校準設備，該設備可以在晶圓實際針測區域進行高精確度（低至30mK）全自動測量。目前，被命名為ProbeSense?的該設備正在申請技術專利。
由一個溫度傳感器組成，安裝在晶圓探針臺的探針卡處的ProbeSense?，將在晶圓針測中，遵循探針XYZ軸的移動規律，在保證測試環境相同的情況下，對晶圓表面進行多點溫度測量。ProbeSense?將與適配板一起交付，實現與行業主流探針臺兼容的同時，滿足客戶的需要。此外，在ProbeSense?的整套裝備中還包含一個溫度測量儀器，該儀器的精確度已經預先與溫度傳感器同步校準在了mk范圍之內。
為了進一步實現測量過程無需人力操作的全自動化，探針臺中還將裝載ProbeSense?配套軟件，以在不同溫度下，針對卡盤不同位置運行測試腳本。MPI是首批在其探針臺上提供這項功能的探針臺制造商之一。
“ProbeSense?很好的滿足了行業對功能性強、精確度高且易于操作的校準工具的需求，”ERS electronic公司首席技術官Klemens Reitinger說。 “我們堅信，已經被多家探針臺制造商采用的該全自動ProbeSense?將成為精度校準和溫度均勻性測量領域的規則改寫者。”
“成功將ProbeSense?集成到SENTIO®探針臺的MPI公司看到了該設備的明顯優勢：不僅操作上直觀便捷，測試速度也較快。由于其全自動的特性，還實現了夜間和周末的持續校準，從而節省了生產時間。”Stojan Kanev, MPI公司總經理說， “ProbeSense?的推出，正是為了更好的滿足客戶在成本控制、提高工作效率方面的需求。”
ERS ProbeSense?現已接受預訂。
