3M半導體研磨盤生產線落地蘇州 | 美通社

在第四屆中國國際進口博覽會上，全球領先的多元化科技創新企業3M正式宣布公司將投資數千萬元人民幣，在其位于蘇州的工廠中設立一條半導體研磨盤生產線。該項目的順利落地標志著3M成為半導體CMP（晶圓表面化學機械平坦化）研磨盤細分領域內，首個實現中國本土化生產的外資企業。

該半導體研磨盤生產線預計將于2022年初實現量產，初步規劃產能為每月8000顆，投用后將與3M位于上海的半導體研發實驗室形成合力，進一步布局“研發-生產-測試”全鏈路落地中國本土，更好地滿足國內各類半導體客戶CMP工藝需求，響應中國半導體市場日益增長的產品創新訴求。

在今年的第四屆進博會上，3M半導體工業解決方案的明星產品 -- 3M CMP Trizact?研磨墊完成了中國首秀。該新品利用3M獨有的微復制技術，以小面積創造大效益，為高級技術節點的半導體制造提升耗材使用效率。